表面淬火由于淬硬層薄，一般說來變形不大。但對于某些零件，由于加熱速度極快，冷卻也較快，產生的內應力較大，也會產生彎曲，撓曲，橢圓等變形，尤其將淬透層相對地加深，或溫度過高則更易變形，有時還造成淬火裂紋。

       表面加熱淬火會引起中孔的收縮。例如將內螺紋量規，中孔樣圈等中孔零件的內孔表面進行高頻淬火時，一般發現內孔收縮，外徑100mm，內徑40mm，高40mm的花鍵內孔量規（材料CrMn鋼）高頻淬火后，中孔可有0.04~0.08mm的收縮(淬硬層深度5～8mm)。如果將中孔零件的外表面加熱淬火，當零件較薄或淬火加熱較深時，中孔也收縮。產生這種中孔收縮的原因，主要是由于硬化部分與非硬化部分的質量體積不同而產生的壓縮應力，使內表層硬化膨脹時向孔的中心方向膨脹，因而收縮了孔徑，后者則是由于外表層急冷收縮的熱應力使內孔塑性壓縮所致。